Inte så klibbigt

Elastomerer är kritiska material för tätning och dämpning i tillämpningar för halvledartillverkning. De förhindrar läckage, ger isolering, klarar av tryck, bibehåller vakuumintegritet, begränsar kontaminering, erbjuder dämpningsegenskaper och säkerställer den övergripande effektiviteten hos produktionsutrustning för halvledare.  

Stiktion är ett problem  

"En faktor som kan ha en betydande negativ inverkan på en tätningens prestanda är den inneboende klibbigheten eller stiktionen hos elastomerer, vilket innebär att tätningarna tenderar att fastna på motytor," säger Murat Gulcur, teknisk direktör för halvledare.  

"I statiska tätningsapplikationer kan elastomerdelar som fastnar i spår leda till förlängda stillestånd för att rengöra tätningsrester från tätningsytor och byta tätningar, vilket stör de förebyggande underhållscyklerna och leder till produktivitetsförlust," fortsätter han. "I dynamiska applikationer kan elastomerer som fastnar på en motyta förhindra att rörliga delar fungerar effektivt, särskilt efter viloperioder."  

Minimera stiktion 

 Det är därför viktigt att minimera stiktionsegenskaperna hos elastomertätningar för att förbättra produktiviteten hos halvledartillverkningsutrustning.  

Murat förklarar att Isolast® PureFab™-materialen, Trelleborg Sealing Solutions sortiment av perfluoroelastomer (FFKM)-föreningar särskilt utvecklade för halvledartillämpningar, uppvisar enastående låga stiktionsegenskaper. "Det innebär att de i många fall fungerar på den optimala nivån för en tillämpning utan vidare behandling. Men för applikationer som kräver extremt låg stiktion kan vår unika Seal-Glide® kemiska ångavsättningsbehandling ytterligare minska stiktionen."  

Unik Seal-Glide-ytbehandling 

Jämfört med andra ytbehandlingar, såsom polytetrafluoretylen (PTFE)-beläggning och klorering, är Seal-Glide® en mer hygienisk, hållbar och mindre kemiskt aggressiv lösning. Dessutom är den enklare att applicera på komponenter med komplexa geometriska former.  

"Den är upp till 50 gånger tunnare än konventionella beläggningar, vilket innebär att den inte negativt påverkar de fysiska egenskaperna hos tätningen," påpekar Murat.  
För att förstå effektiviteten av Seal-Glide® i att minska och begränsa stiktion genomförde Trelleborg Sealing Solutions in-house-utvecklade tester. "I dessa tester använde vi Seal-Glide®-ytbehandlingen med en rad olika Isolast® PureFab™ FFKM-material och en FKM-förening, som alla är vanligt förekommande för tätningar i halvledarprocessutrustning," fortsätter Murat.  

Testerna bevisar en minskning av stiktion  
"Våra tester visade att Seal-Glide®-behandlingen kunde minska stiktionen mellan tätningen och motytan med upp till 85 procent. Denna nivå av reduktion ger stora fördelar för prestandan av halvledartillverkningsutrustning, vilket minskar planerat och oplanerat underhåll och leder till en lägre total ägandekostnad för FABs," avslutar Murat.  

Vad är stiktion? 

 Eftersom elastomerer naturligt fastnar på motytor är de mottagliga för stiktion, friktionen som förhindrar stationära ytor från att sättas i rörelse, särskilt efter viloperioder, både i statiska och särskilt i dynamiska tillämpningar. Detta kan orsaka slitage på tätningar och ineffektiv energianvändning, eftersom utrustning kräver mer kraft för att flytta komponenter.  

Hur fungerar Seal-Glide?  

Designad för att förbättra friktionsegenskaperna hos elastomerkomponenter appliceras Seal-Glide® på en tätning genom en innovativ process, där en gasblandning med olika joner bombarderas på det översta lagret av en elastomeryta.  

Tjockleken på den modifierade ytan är vanligtvis mindre än 450 nanometer, vilket är ungefär 50 gånger tunnare än konventionella beläggningar. Detta innebär att behandlingen kan ge stora fördelar utan att negativt påverka tätningens egenskaper.  

Viktigt är också att behandlingen möjliggör ytförberedelse av komponenter med komplex geometri och detaljer, vilket är omöjligt med lackbaserade beläggningar.  

För mer information, vänligen besök: Seal-Glide®