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Isolast® (イソラスト)K-Fab™ シールブローシャーが完成しました
トレルボルグのIsolast®(イソラスト) K-Fab™ フランジシールの詳細と、過酷なサブファブ条件下におけるシール性能についてご覧ください。
Isolast®(イソラスト) K-Fab™ フランジシールは、現在の過酷なサブファブ条件下で、シールの長寿命化と生産性の向上を実現します。
従来からのフランジシールにはO-リングが使用されていましたが、使用条件の厳しさが増すにつれ、O-リングの早期不具合につながる可能性が高くなっています。このような問題のソリューションとしてIsolast®(イソラスト) K-Fab™ フランジシールがあります。
Isolast®(イソラスト) K-Fab™ フランジシールは、半導体用途向けのアプリケーションに特別に開発したパーフロロエラストマー(FFKM)材を使用しています。この材料は、過酷なサブファブ環境で求められる優れた耐高温特性と耐薬品特性を備えています。従来のO-リングと比べると、耐熱性に優れ、断面積も小さくなっていることから、熱膨張による溝内での過剰な占積の問題を解決できます。
トレルボルグのIsolast®(イソラスト) K-Fab™ フランジシールの詳細と、過酷なサブファブ条件下におけるシール性能についてご覧ください。