高性能氟化橡膠

為半導體應用選擇最佳材料通常是在成本和性能之間取得平衡，以實現最佳的整體擁有成本。

在化學品腐蝕性較小的製程中，我們的氟化橡膠（FKM）材料可提供真空完整性，表現出非常低的 O2 和 H2O 滲透率以及釋氣率也非常低。

這些材料適用於各種應用，例如：傳輸室和廠務端的應用。在這些應用中，真空完整性對於保持高產量極為重要。

Resifluor™ PureFab™  系列先進的氟化橡膠，具有改良的聚合物結構和低微量金屬含量，可提供卓越的潔淨度。

產品:

• O-Rings
• 客製設計的密封件，包括橡膠對金屬和橡膠對塑膠的粘合產品，例如晶圓密封件
• FlexiMold™ 大尺寸無接縫密封件
• 中心環 Centering Rings (NW, KF, ISO)